高分辨场发射扫描电镜
来源：重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台 发布时间：2023-02-06
仪器名称： 高分辨场发射扫描电镜
英文名称：
所属分类： 分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 其他
学科领域： 力学
技术指标： 主要由蔡司Gemini 300扫描电镜主机、牛津Aztec X-Max50能谱和牛津Symmetry 超级EBSD系统组成。 该设备可对金属、陶瓷、矿物、岩石等材料进行表面形貌及表层结构特征的分析研究，其in Lens模式对不导电样品也可直接成像，15kV下二次电子像的点分辨率为0.8nm；能谱仪能够对Be4~U92 范围内的元素进行点、线、面成分分析；电子背散射衍射可进行材料微观结构、取向分布、物相分布及变形特征等的分析，Symmetry探测器采用全新的CMOS技术，采集速度最快能够达到3000点/秒，是传统EBSD的30倍。同时，配合实验室现有的加载台（包括Gatan样品拉伸台、Hysitron PI-85扫描电镜专用原位力学实验平台），在位实时的观测变形过程中的变形、损伤演化，以揭示材料宏观力学行为与显微组织的关联，可以用来研究微、纳米尺度上先进的纳米材料、非晶、非均匀高强材料等塑性变形、疲劳损伤、断裂的微观结构机理，以满足科研需求。
主要功能： 高分辨场发射扫描电子显微镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，配置能谱仪和背散射电子衍射仪附件，可以实现样品表面微观区域成分分布的定性定量分析以及晶体取向和晶格参数分析。
