最新公告：
单位
原子沉积系统
仪器名称：原子沉积系统
规格型号：Savannah S200
分 类：电化学传感器
应用领域：电子与通信技术
所属单位：河北工业大学
产 地：美国
厂 商：Ultratech Se. Asia Pte. Ltd.
价 值：149.81万
购置日期：2016-12-20
使用状态：
共享模式： 外部共享
资源信息
主要技术指标
单反应腔室设计，可处理8英寸基片并兼容小于8英寸的基片；基片温度最高可加热到350℃，控温精度±1℃；设备运行真空范围：100mtorr to 200mtorr；承载气体MFC流量范围：100sccm ；可生长深宽比2000:1的氧化物膜层?
主要功能/应用范围
用于氧化物、氮化物、金属薄膜的生长
服务内容
暂无
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
暂无
参考收费标准
具体请跟机主老师联系
联系信息
| 仪器联系人： | 张紫辉 | 联系电话： | 18526453490 |
| 电子邮箱： | zh.zhang@hebut.edu.cn | 传 真： |
评价信息