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高真空磁控溅射薄膜沉积系统

仪器名称:高真空磁控溅射薄膜沉积系统

规格型号:TRP450

分  类:其他仪器

应用领域:自然科学相关工程与技术  

所属单位:河北省科学院机关

产  地:中国

厂  商:定制

价  值:96.9万

购置日期:2023-12-19

使用状态:

共享模式: 外部共享

资源信息

主要技术指标

极限真空度:≤8x10-6Pa,2英寸磁控溅射靶,配备射频溅射电源和清洗电源,样品最高温度800℃。

主要功能/应用范围

薄膜沉积

服务内容

实验分析

服务的典型成果

对外开放共享规定

实时对外共享

参考收费标准

按需求核算工作量进行收费。

联系信息
仪器联系人: 安晓明 联系电话: 83018057
电子邮箱: 1411459079@qq.com 传  真:
评价信息