仪器名称:高真空磁控溅射薄膜沉积系统
规格型号:TRP450
分 类:其他仪器
应用领域:自然科学相关工程与技术
所属单位:河北省科学院机关
产 地:中国
厂 商:定制
价 值:96.9万
购置日期:2023-12-19
使用状态:
共享模式: 外部共享
主要技术指标
极限真空度:≤8x10-6Pa,2英寸磁控溅射靶,配备射频溅射电源和清洗电源,样品最高温度800℃。
主要功能/应用范围
薄膜沉积
服务内容
实验分析
服务的典型成果
—
对外开放共享规定
实时对外共享
参考收费标准
按需求核算工作量进行收费。
仪器联系人: | 安晓明 | 联系电话: | 83018057 |
电子邮箱: | 1411459079@qq.com | 传 真: |