主要技术指标

1.离子枪为潘宁式离子枪，采用聚焦离子束设计； 2.减薄角度为+10°到-10°，每只离子枪可独立调节； 3.独一无二双束调节系统，可进行＜1°的单双面减薄； 4.离子枪能量电压可调，从0.1KeV-8KeV； 5.采用WhisperlokTM技术，样品更换时间＜1min，无需破坏减薄室真空; 6.DouPost样品台，在X/Y方向±0.5mm移动，对区域实现重复减薄

主要功能/应用范围

主要用于对TEM样品的减薄，从而制备出高质量的透射电镜样品。

服务内容

设备功能：用于高质量透射电镜样品的制备，它可精确定位减薄位置并对工艺参数进行精确控制。

服务的典型成果

《Applied Physics Letters》(2022, 120: 173505)等

对外开放共享规定

对外完全共享，在物理学院大型仪器平台，遵守物理学院大型仪器平台相关规定

参考收费标准

院内2元/小时，院外3元/小时，校外30元/小时