主要技术指标

离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体 减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节 离子束能量 100eV 到6.0 KeV 光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM 离子电流密度 最大 10mA/cm2 离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束 离子束尺寸 通过气体控制调整 干燥泵系统 两个部分，隔膜机械泵搭配一个70 升/秒涡轮分子泵 压力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本压力 8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作压力 真空计 样品室冷阴极标尺，搭配固态压力传感器 样品调换 Gatan专利 WhisperlokTM，样品更换时间＜1分钟 样品的Airlock <30 秒 功率 能量消耗 运行时需200W，离子枪关闭时需100W 电源要求 通用电压 100VAC-240VAC，50/60Hz（用户需确定电压和频率） 气体 氩气 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）

主要功能/应用范围

金属、陶瓷及半导体等固体材料的TEM样品的减薄和抛光

服务内容

制备TEM样品

服务的典型成果

为各高校和科研院所进行了各类材料的TEM样品制备

对外开放共享规定

实验机时的预约仅接受“网上预约”，请在每周的预约截止时间前提前预约下一周的机时

参考收费标准

离子束抛光：150元/小时； TEM制样：500元/小时