主要技术指标

1、二次电子像分辨率：≤5nm；背散射电子像分辨率：≤20nm（拓扑像、成分像） 2、加速电压：0～30kV； 3、束流范围：10-5～10-12A，连续可调； 4、束流稳定度:≤±0.5×10-3/h和 ±3×10-3/12h 5、图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调； 6、电子束位移：≤1μm/h； 7、元素定量成分分析精度：好于1%(主元素，含量＞5%)和5%(次要元素，含量～1%)； 8、谱仪道数：三道谱仪，能够充分满足5B - 92U全元素分析需要； 9、X射线出射角：40°；

主要功能/应用范围

可以对固体试样表面微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析，可以进行点、线扫描（得到成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。具有实验结果解析直观、不损坏样品、测量准确度高等优点。在冶金、地质、材料、医学、考古等方面得到广泛的应用。

服务内容

样品测试

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

实验机时的预约仅接受“网上预约”，请在每周的预约截止时间前提前预约下一周的机时

参考收费标准

250元/时（校内）