主要技术指标

1、光源：系统光源波长不低于405nm; 2、横向分辨率不低于120nm; Z轴最小步进优于1nm; 3、电动物镜转盘可同时装载5个及5个以上物镜，具有物镜自动识别功能; 4、最高样品高度不低于40mm，系统扫描的最大深度不低于5mm; 5、 配备全自动扫描台，行程不小于100×75mm,最大扫描速度不小于80mm/s，分辨率0.04um。

主要功能/应用范围

由于其受专利保护的宽场相关孔径共聚焦技术，Smartproof5能够有效地减少获取分析结果的时间，从而能够保证高分辨率的同时也能够实现快速成像。 快速准确地对复杂的材料微结构表面和内部进行多维检测分析。用彩色的2D图像、3D图像观察测量样品的表面形貌、波纹度、粗糙度及膜层厚度。用于材料微结构的表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析。

服务内容

无

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

实验机时的预约仅接受“网上预约”，可提前2-7天预约

参考收费标准

180元/小时（校内）